研究刻蚀机台论文（刻蚀机的组成）
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物理研究性学习结题报告-纳米技术的发展及应用
回顾粘结剂的发展过程。 约翰•；丁达尔是怎样应用他对于光在溶液中散射的研究解释天空为什么是蓝色？ 了解纳米技术的发展及我国纳米技术及应用领域。 为北京2008年奥运会设计一种有中国特色的节能环保型奥运火炬。
在研究性学习的过程中，开题报告与结题报告是两个重要的环节。开题报告主要是设定研究目标，阐述已有研究成果，介绍研究工具和参考文献，并规划研究方法和计划。开题报告是在研究开始前对研究课题的全面思考与规划。而结题报告则侧重于总结研究过程。
结题报告的正文：主要包括三个部分。(1)课题的一般情况，阐述列题的背景；指明课题目标、研究思路及原则；说明研究历时及阶段，并分析各阶段的主要工作和特点。
刘晓为论著成果
1、刘晓为在学术领域取得了显著的成果，他的研究涵盖了多个技术领域。在1994年的《半导体学报》上，他与合作者共同探讨了掺硼多晶硅薄膜的电阻率温度特性，详细分析了其变化规律，文章编号为15(6)：429-434。
中国哪所大学的微机电系统专业(mems)最好?
微机电系统工程专业在全球范围内，各大高校纷纷展开了激烈的竞争。在这一领域，中国高校的表现尤为突出。根据最新的排名，清华大学荣登榜首，哈尔滨工业大学紧随其后，位列第二。上海交通大学、华中科技大学、北京理工大学、天津大学、大连理工大学、浙江大学和西安交通大学依次排在第三至第十位。
于国内做MEMS（微机电系统）方向最好的大学，我向你推荐清华大学、北京大学、上海交通大学和浙江大学。这些高校在MEMS领域的研究历史悠久，积累了丰富的经验和资源，拥有优秀的师资团队和先进的实验设施，是国内MEMS方向的佼佼者。清华大学在MEMS领域的研究一直处于国内领先地位。
东南大学在MEMS领域拥有多个国家级和省部级科研平台，包括国家专用集成电路（ASIC）系统工程技术研究中心、光传感/通信综合网络国家地方联合工程研究中心、微机电系统（MEMS）教育部重点实验室和教育部信息显示与可视化国际合作联合实验室。这些平台为MEMS技术的研究和开发提供了强有力的支持。
国内目前（MEMS）工艺条件最好的当数北大，尤其是深槽刻蚀技术，已经张大成老师摸的很透彻，是世界水平。但是别的就一般了。北大的几样法宝：深槽刻蚀机，双面光刻机，和一套键和设备。目前已经开发出国内很流行的两套体硅工艺和一套单层多晶硅的表面硅工艺。
北京大学微电子研究院的MEMS研究所是中国最早的MEMS代工机构，研究范围广泛，涵盖了RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS和NEMS等多个前沿方向。
MEMS（微机电系统）方向，东南大学是最优选择，但需注意其微电子学院众多，需仔细区分。材料方向，华中科技大学实力最强，但因其研究方向已转向其他领域，对于本科为微电子专业的学生来说可能不太合适。理论研究方向，南京大学和吉林大学较强，但理论研究的前景可能有限。